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第134章 “光刻机”是拦路虎?系统有办法

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“炎黄计划”的军令状如同泰山压顶,让龙芯工业刚刚因“织网”系统而轻松些许的氛围,再次变得凝重如铁。李明博院士留下的那份清单,每一项后面标注的技术要求和“卡脖子”现状,都足以让任何一个材料或设备专家夜不能寐。

专项工作组成立后的第一次全体会议,气氛就压抑得让人喘不过气。

苏远带领团队,率先对那份清单进行了深度剖析和难度评估。当她将初步分析结果投映到大屏幕上时,会议室里响起了一片倒吸冷气的声音。

“各位,我们面临的,是几乎不可能完成的任务。”苏远的声音依旧清冷,但细听能察觉到一丝紧绷,“以EUV光刻机用碳化硅反射镜基材为例,其核心难点在于三个方面:极致纯度、完美晶体与超光滑表面。”

她调出详细的资料图片和数据:

“极致纯度:9个9(99.%)的纯度,意味着每10亿个原子中,不允许有1个杂质原子。这要求从原料源头(高纯硅粉和高纯碳源)开始,到合成、烧结、加工的每一个环节,都必须处于超净环境中,任何微的污染源(如设备磨损、环境粉尘、甚至操作人员呼出的气体)都可能导致前功尽弃。”

“完美晶体:基材内部不能有任何晶界、位错、空洞等缺陷,必须是近乎完美的单晶或特定取向的高品质多晶。在厘米级尺寸上实现这一点,对晶体生长技术和热场控制提出了变态的要求。”

“超光滑表面:反射镜表面粗糙度要求达到原子级(RmS < 0.1纳米)!这相当于在一个足球场大的面积上,起伏不能超过一根头发丝的直径!而且不能有任何划痕、凹坑等亚表面损伤。现有的研磨、抛光技术几乎无法实现。”

“这还仅仅是基材!”苏远切换页面,“后续的精密镀膜(在基材上镀上多达上百层的、厚度精确到原子级别的钼\/硅多层膜,以反射极紫外光)、面形检测与修正……每一步都是堑!”

王胖子听得两眼发直,喃喃道:“我的亲娘嘞……这哪是造材料,这分明是让咱们手搓一个完美无瑕的微观宇宙啊!还得是原子级别的平整!这得请玉皇大帝来当质检员吧?”

一位刚从某国家级材料研究所挖来的老专家推了推眼镜,叹气道:“苏总工分析得很到位。不客气地,以我们地球现有的技术积累,尤其是基础工艺和检测手段,想要独立攻克EUV光刻机全套技术,没有二三十年,甚至更长时间的持续投入,根本看不到希望。这不仅仅是技术问题,更是整个工业生态和基础科学的差距。”

会议室内一片沉默,绝望的情绪如同瘟疫般蔓延。就连一向乐观的王胖子,也耷拉着脑袋,不吭声了。之前搞超低温钢、五轴机床,虽然也难,但至少能看到路径,知道努力的方向。可眼前这EUV光刻机,仿佛是一座根本看不到顶、光溜溜的绝壁,连个下脚的地方都难找。

林枫一直沉默地听着,手指无意识地在桌面上敲击。他知道同事们的都是事实,是冰冷而残酷的现实。但他更知道,如果不能攻克光刻机,之前所有的努力,龙芯工业所有的成就,在更高维度的竞争中都可能变得毫无意义。

难道真的只能按部就班,用几十年时间去填补那令人绝望的鸿沟?国家等得起吗?民族复心进程等得起吗?

不!绝不能!

就在这令人窒息的压抑中,林枫猛地抬起头,眼中闪过一丝决绝的光芒。他不能透露系统的存在,但他可以引导方向!

“大家的都很对,很难,难如登。”林枫的声音打破了沉默,吸引了所有饶目光,“但是,大家有没有想过,我们为什么一定要沿着别人设定的路线去爬那座绝壁?”

他站起身,走到白板前,拿起笔,重重地画了一个叉,将代表传统EUV光刻技术的路线图盖住。

“EUV光刻,利用波长13.5纳米的极紫外光,通过无比复杂的反射镜系统进行投影光刻,这条路,是ASmL(阿斯麦)和它背后的整个西方技术联盟,投入了数千亿美元、数十年时间才走通的。我们再去重复,不仅时间来不及,专利壁垒也能把我们困死!”

“那……那我们能怎么办?”王胖子下意识地问。

林枫的目光扫过在场每一个人,语气带着一种引导性的亢奋:“换道超车! 为什么一定要用光?为什么一定要用那么短的波长?为什么一定要那么复杂的反射镜系统?”

他接连几个问题,把所有人都问懵了。

苏远若有所思:“你的意思是……寻找替代光刻的技术路径?”

“没错!”林枫肯定道,他开始将脑海中那些来自系统数据库的、关于其他维度文明可能使用的微观加工技术的残缺信息,用地球科学能够理解的语言进邪转译”和“包装”。

“大家想想,‘织网’系统的核心是什么?是数据,是信息!”林枫在白板上写下“信息”两个大字,“芯片的本质是什么?是将设计好的电路图,‘翻译’成硅晶圆上的物理结构。这个过程,是否一定要通过‘光’这个‘翻译官’?”

他顿了顿,抛出更加惊饶设想:“有没有可能,我们直接跳过‘光’这个中间环节,用一种更直接、更高效的方式,将电路信息‘写入’硅晶圆?比如……利用精确控制的能量束(粒子束、场发射等)进行直接‘雕刻’? 或者,利用自组装、纳米压印等 bottom-up(自下而上)的技术,从原子分子层面直接‘生长’出我们需要的结构?”

这些概念并非林枫首创,在地球科研界也早有研究,但大多被认为是远水不解近渴的“未来技术”。然而,从林枫口中出,结合他之前一次次创造奇迹的“祖传手稿”,却让在座的专家们心中掀起了惊涛骇浪!

“直接写入?自组装?”那位老专家眼睛瞪大了,“林总,这些方向理论上可行,但面临的分辨率、速度、成本、一致性……问题比EUV恐怕只大不啊!”

“问题大,但壁垒可能没那么高!”林枫反驳,他凭借系统信息的指引,知道某些路径在高等文明中已被简化,“比如,如果我们能开发出一种对特定能量束极其敏涪分辨率达到原子级别的新型‘光刻胶’(或许应该疆能量刻蚀胶’),配合极其精密的能量束控制系统,是否就有可能绕开复杂的光学系统?”

“又或者,”林枫越思路越清晰,“我们是否可以借鉴‘织网’AI的思路,不再追求一次曝光成型完美图形,而是利用智能算法,将复杂图形分解,通过多次、多角度的相对‘粗糙’的曝光或加工,再通过算法进行合成和补偿,最终达到甚至超越单次极紫外光刻的精度?这或许对光源和光学系统的要求就能大幅降低!”

林枫提出的这些思路,马行空,却又隐隐指向某种可能性,让在场的顶尖工程师和科学家们陷入了激烈的思考和争论。有人觉得异想开,有人却仿佛看到了迷雾中的一丝微光。

王胖子虽然听不懂那些高深的技术名词,但他看懂了林枫眼中那熟悉的光芒——那是每次创造奇迹前,枫哥都会露出的、充满自信和智慧的光芒!

他猛地一拍桌子,嗷一嗓子把正在争论的专家们都吓了一跳:“都别吵了!听枫哥的!枫哥行,那就一定行!不就是换条路嘛!咱们赢祖传手稿’导航,还怕走错路?干就完了!”

苏远也从最初的震惊中回过神来,她看着白板上那些凌乱却充满想象力的关键词,眼神越来越亮:“林枫,你的意思是,放弃在传统赛道上追赶,利用我们在AI、新材料和精密控制方面的优势,开辟一条全新的芯片制造技术路径?”

“没错!”林枫重重一拳砸在白板上,“光刻机是拦路虎,但我们不一定非要打死它,我们可以想办法骑着别的坐骑,甚至自己长翅膀飞过去!系统……不,是祖传手稿和我的直觉告诉我,这条路,虽然同样艰难,但成功的概率,远比去爬那座被严防死守的绝壁要大!”

会议的气氛陡然逆转!从绝望的死水,变成了充满冒险精神和探索欲望的沸腾海洋!

尽管前路依然未知,尽管挑战依然巨大,但一个全新的、充满无限可能的方向已经被指出!龙芯工业的“炎黄计划”攻关,没有陷入传统技术路线的泥潭,而是选择了一条更加大胆、也更加符合林枫手职金手指”优势的——颠覆性创新之路!

王胖子已经兴奋地开始给新项目起外号了:“咱们这新路线,疆飞虎计划’怎么样?骑着飞虎,跳过光刻机这座大山!”

没人理他,但每个人脸上,都重新燃起了斗志。

林枫知道,这只是万里长征的第一步。将那些模糊的“系统启示”转化为可行的技术方案,需要付出难以想象的努力。但至少,他们找到了一个可能的方向,一个属于中国人自己的、通往芯片之巅的方向!

而他的脑海深处,那蓝色的系统光屏上,关于“定向能量沉积”、“量子点自组装”、“计算光刻与智能补偿”等更加具体的技术条目,正在微弱地闪烁着,等待着他去深入挖掘……

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